上野研究室＠埼玉大学 公式Webページ
実験装置
をテンプレートにして作成
開始行:
#norelated
上野研究室では以下のような実験装置が利用可能です。見出し...
実験装置は新規導入・改造・更新・廃棄が多々あり，既に無い...
//**[[有機薄膜成長用分子線エピタキシー(MBE)装置:http://su...
//この装置は，有機FETや有機ELの形成に必要な有機薄膜を成長...
//-MBE室（油拡散ポンプ付，最高到達真空度1×10&super{-8}; P...
//-試料導入及び蒸着室（ターボ分子ポンプ付き，最高到達真空...
//-クヌッセンセル（Ｋセル）３本
//-ロードロック式Ｋセル １本
//-バルブドセル １本（未装着）
//-ＲＦスパッタ蒸着源 １本
//-電子ビーム蒸着源 １本＋３本
//-反射高速電子線回折装置 １式
//-ＲＦプラズマ源 １式（未装着）
//
//などが付属しています。
//
**[[原子層堆積（ALD）装置:http://surface-www.chem.saitama...
手元にあった使っていない真空チャンバーを流用し，見よう見...
成膜対象の基板が小さく，「ウエハー全面に均一成膜」なんて...
現在，別のALD装置も計画中で，カルコゲナイド系層状物質の成...
**[[マスクレスフォトリソグラフィー装置:http://surface-www...
2014年度に作製した，マスクが不要なフォトリソグラフィー用...
装置の仕組みは簡単で，接眼観察とカメラ撮影が同時に可能な...
さまざまな大きさ，形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電...
フォトレジストにはAZ5214Eというものを用いていますが，紫外...
キセノンや高圧水銀ランプ＋カラーホイールを用いたDLPプロジ...
[[顕微鏡会社:http://www.armssystem.co.jp/]]からの完成シス...
**[[超高真空MBE:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/p...
この装置では，層状化合物半導体薄膜等のMBE成長とin-situで...
-MBE室（ターボ分子ポンプ付，最高到達真空度1×10&super{-8};...
-電子分光室（ターボ分子ポンプ付，最高到達真空度1×10&super...
-試料導入室（ターボ分子ポンプ付き，最高到達真空度1×10&sup...
-クヌッセンセル（Ｋセル）２本
-ロードロック式Ｋセル ３本
-反射高速電子線回折装置（MCP-RHEEDスクリーン付） １式
-電子銃内蔵共軸円筒鏡型ダブルバス電子分光装置（CMA） １式
//-紫外光電子分光用紫外線発生装置 １式
-傍熱／通電両対応試料加熱装置 ２式
などが付属しています。~
電子分光はCMA内蔵の電子銃を用いたオージェ電子分光と，電子...
~・・・なお2018年度，電子分光装置は後輩に全て譲り，代わり...
//**[[角度分解光電子分光測定装置（有機薄膜成長チャンバー...
//この装置はVG Scientific社製の角度分解電子分光装置ADES40...
//
**[[原子間力顕微鏡装置:http://surface-www.chem.saitama-u....
この装置はセイコーインスツルメンツ社製の原子間力顕微鏡SPI...
-原子間力像測定（接触／非接触両対応）
-摩擦力像測定
-液中，雰囲気制御下測定
-走査トンネル電子顕微鏡像測定
-導電性カンチレバーによる原子間力／電流同時測定，表面加工
-ベクトルスキャンによる図形描画
などができます。走査用ピエゾは1μ，10μ，80μの３本があり用...
なお2015年度に，後継機種として日立ハイテクサイエンス社製A...
**[[ラマン分光装置:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
本装置は埼玉大学科学分析支援センターに設置されている装置...
-照射レーザー光：532 nm, 785 nm
-検出器：高感度CCD
-Streamline高速ラマンイメージング測定
-Eclipse LWN Filterによる極低波数ラマンシフト測定（〜5 cm...
-偏光ラマン測定~
極低波数シフト測定により，層状物質単結晶数層膜のShearモー...
**イメージングX線光電子分光装置 [#ife386b8]
本装置は埼玉大学科学分析支援センターに設置されている装置...
-単色化AlK&subsc{α};X線源
-ディレイラインディテクター（DLD）システム
-パラレルイメージングと微小部スペクトル
-全自動試料ハンドリング機構
-試料ナビゲーションシステム
-優れた中和機構による高エネルギー分解能
-アルゴンイオンクラスターエッチング銃
-試料加熱冷却導入機構~
アルゴンイオンクラスターエッチング銃は従来の単原子Arイオ...
**[[層状物質バルク単結晶成長用３ゾーン管状炉:http://surfa...
化学蒸気輸送法（CVT）により層状物質の単結晶を育成するため...
CVTでは，高温部と低温部の間で温度勾配を与えて結晶を気相輸...
**[[層状物質化学気相成長（CVD）用管状炉:http://surface-ww...
加熱した石英管内に原料ガスを流し，基板上で堆積させて薄膜...
手前の２段になっている管状炉はどちらも２ゾーンで，上流（...
どの管状炉も，外側に突き出た石英管の上流部にもラバーヒー...
**[[グラフェンCVD／パリレン薄膜CVD用管状炉:http://surface...
上段がグラフェンCVD成長用の２ゾーン管状炉です。１ゾーンで...
下段はパリレン（パラキシリレン）重合膜をCVD法により成膜す...
参考資料：[[こちらのWebページ:http://www.physics.rutgers....
**[[石英アンプル真空封入装置:http://surface-www.chem.sait...
石英アンプルに原料等を入れ，真空封入するための排気系と酸...
なお現在は排気ポンプはターボ分子ポンプでは無く，油拡散ポ...
//**[[酸化用電気炉:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
//約１１００℃まで加熱可能な２ゾーン管状電気炉に石英管を通...
**[[高速昇降温ランプ加熱炉:http://surface-www.chem.saitam...
赤外線ランプを用い，１分間で1000℃まで昇温可能な加熱炉(旧...
**[[超純水製造装置:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
写真左にあるのがクリタ製のイオン交換樹脂塔，真ん中にある...
**[[半導体試験用微少電流測定装置／電圧源 及びLCZメータ:h...
層状物質・有機FETの特性測定に用います。Windows+ExcelVBAで...
液晶モニタの下に置いてあるのは米国Protek社製のLCZメータで...
これの他にもう1セット，Keithley6487ピコアンメーターを2台...
**[[ホール効果測定システム:http://surface-www.chem.saitam...
Keithley社製7001スイッチ，7065型ホール効果測定用マトリク...
**[[極低温冷凍機:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/...
約５Ｋまで冷却することのできる機械式冷凍機（ダイキン工業...
//**[[Langmuir-Blodgett膜製造装置:http://surface-www.chem...
//フィンランドKSV社製（国内代理店アルテック社）のLB膜製造...
**[[太陽電池分光感度測定装置:http://surface-www.chem.sait...
分光計器製YQ-250CX型です。現行ラインアップは[[分光計器HP:...
I-V測定にはアドバンテスト（現サポートはエーディーシー）...
**ソーラーシミュレーター（疑似太陽光発生装置） [#jbdf67e7]
[[三永電機製作所のXES-151S型:http://www.san-eielectric.co...
太陽電池評価ソフトは，いつもの通りEasy-GPIBを使ったExce...
**[[スピンキャスト成膜装置:http://surface-www.chem.saitam...
[[ミカサのスピンコーター:http://www.opticoat.co.jp/spin/i...
**[[高速遠心分離機:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
[[KUBOTAのテーブルトップ高速冷却遠心機 3-30KS型:http://ww...
//**グローブボックス [#v719bfa1]
//[[三幸工業の製品:http://sksanko.com/glovebox.html]]です...
//**紫外〜近赤外分光器 [#d946952c]
//日本分光CT-10型です。2010年現在，遊んでいます。488nmレ...
**（以下追って解説） [#ia5b34f7]
//-陽極酸化用電圧／電流源など
-USB接続小型ファイバマルチチャネル分光器
-Xeランプ光源
-UVオゾン処理装置
-酸素プラズマクリーナー
-光電子収率測定装置
-ガスセンサー評価用パーミエーター
//-アルゴンイオンレーザー
-制御用パーソナルコンピュータ多数&br;
----
GP-IB制御の装置が多いのでずっとPC9801とN88-BASICを使っ...
LabViewやTestPointという測定制御ソフト構築用プログラミ...
----
EasyGPIBとEasyComm，公開が終了してしまいました。使用で...
終了行:
#norelated
上野研究室では以下のような実験装置が利用可能です。見出し...
実験装置は新規導入・改造・更新・廃棄が多々あり，既に無い...
//**[[有機薄膜成長用分子線エピタキシー(MBE)装置:http://su...
//この装置は，有機FETや有機ELの形成に必要な有機薄膜を成長...
//-MBE室（油拡散ポンプ付，最高到達真空度1×10&super{-8}; P...
//-試料導入及び蒸着室（ターボ分子ポンプ付き，最高到達真空...
//-クヌッセンセル（Ｋセル）３本
//-ロードロック式Ｋセル １本
//-バルブドセル １本（未装着）
//-ＲＦスパッタ蒸着源 １本
//-電子ビーム蒸着源 １本＋３本
//-反射高速電子線回折装置 １式
//-ＲＦプラズマ源 １式（未装着）
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//などが付属しています。
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**[[原子層堆積（ALD）装置:http://surface-www.chem.saitama...
手元にあった使っていない真空チャンバーを流用し，見よう見...
成膜対象の基板が小さく，「ウエハー全面に均一成膜」なんて...
現在，別のALD装置も計画中で，カルコゲナイド系層状物質の成...
**[[マスクレスフォトリソグラフィー装置:http://surface-www...
2014年度に作製した，マスクが不要なフォトリソグラフィー用...
装置の仕組みは簡単で，接眼観察とカメラ撮影が同時に可能な...
さまざまな大きさ，形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電...
フォトレジストにはAZ5214Eというものを用いていますが，紫外...
キセノンや高圧水銀ランプ＋カラーホイールを用いたDLPプロジ...
[[顕微鏡会社:http://www.armssystem.co.jp/]]からの完成シス...
**[[超高真空MBE:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/p...
この装置では，層状化合物半導体薄膜等のMBE成長とin-situで...
-MBE室（ターボ分子ポンプ付，最高到達真空度1×10&super{-8};...
-電子分光室（ターボ分子ポンプ付，最高到達真空度1×10&super...
-試料導入室（ターボ分子ポンプ付き，最高到達真空度1×10&sup...
-クヌッセンセル（Ｋセル）２本
-ロードロック式Ｋセル ３本
-反射高速電子線回折装置（MCP-RHEEDスクリーン付） １式
-電子銃内蔵共軸円筒鏡型ダブルバス電子分光装置（CMA） １式
//-紫外光電子分光用紫外線発生装置 １式
-傍熱／通電両対応試料加熱装置 ２式
などが付属しています。~
電子分光はCMA内蔵の電子銃を用いたオージェ電子分光と，電子...
~・・・なお2018年度，電子分光装置は後輩に全て譲り，代わり...
//**[[角度分解光電子分光測定装置（有機薄膜成長チャンバー...
//この装置はVG Scientific社製の角度分解電子分光装置ADES40...
//
**[[原子間力顕微鏡装置:http://surface-www.chem.saitama-u....
この装置はセイコーインスツルメンツ社製の原子間力顕微鏡SPI...
-原子間力像測定（接触／非接触両対応）
-摩擦力像測定
-液中，雰囲気制御下測定
-走査トンネル電子顕微鏡像測定
-導電性カンチレバーによる原子間力／電流同時測定，表面加工
-ベクトルスキャンによる図形描画
などができます。走査用ピエゾは1μ，10μ，80μの３本があり用...
なお2015年度に，後継機種として日立ハイテクサイエンス社製A...
**[[ラマン分光装置:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
本装置は埼玉大学科学分析支援センターに設置されている装置...
-照射レーザー光：532 nm, 785 nm
-検出器：高感度CCD
-Streamline高速ラマンイメージング測定
-Eclipse LWN Filterによる極低波数ラマンシフト測定（〜5 cm...
-偏光ラマン測定~
極低波数シフト測定により，層状物質単結晶数層膜のShearモー...
**イメージングX線光電子分光装置 [#ife386b8]
本装置は埼玉大学科学分析支援センターに設置されている装置...
-単色化AlK&subsc{α};X線源
-ディレイラインディテクター（DLD）システム
-パラレルイメージングと微小部スペクトル
-全自動試料ハンドリング機構
-試料ナビゲーションシステム
-優れた中和機構による高エネルギー分解能
-アルゴンイオンクラスターエッチング銃
-試料加熱冷却導入機構~
アルゴンイオンクラスターエッチング銃は従来の単原子Arイオ...
**[[層状物質バルク単結晶成長用３ゾーン管状炉:http://surfa...
化学蒸気輸送法（CVT）により層状物質の単結晶を育成するため...
CVTでは，高温部と低温部の間で温度勾配を与えて結晶を気相輸...
**[[層状物質化学気相成長（CVD）用管状炉:http://surface-ww...
加熱した石英管内に原料ガスを流し，基板上で堆積させて薄膜...
手前の２段になっている管状炉はどちらも２ゾーンで，上流（...
どの管状炉も，外側に突き出た石英管の上流部にもラバーヒー...
**[[グラフェンCVD／パリレン薄膜CVD用管状炉:http://surface...
上段がグラフェンCVD成長用の２ゾーン管状炉です。１ゾーンで...
下段はパリレン（パラキシリレン）重合膜をCVD法により成膜す...
参考資料：[[こちらのWebページ:http://www.physics.rutgers....
**[[石英アンプル真空封入装置:http://surface-www.chem.sait...
石英アンプルに原料等を入れ，真空封入するための排気系と酸...
なお現在は排気ポンプはターボ分子ポンプでは無く，油拡散ポ...
//**[[酸化用電気炉:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
//約１１００℃まで加熱可能な２ゾーン管状電気炉に石英管を通...
**[[高速昇降温ランプ加熱炉:http://surface-www.chem.saitam...
赤外線ランプを用い，１分間で1000℃まで昇温可能な加熱炉(旧...
**[[超純水製造装置:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
写真左にあるのがクリタ製のイオン交換樹脂塔，真ん中にある...
**[[半導体試験用微少電流測定装置／電圧源 及びLCZメータ:h...
層状物質・有機FETの特性測定に用います。Windows+ExcelVBAで...
液晶モニタの下に置いてあるのは米国Protek社製のLCZメータで...
これの他にもう1セット，Keithley6487ピコアンメーターを2台...
**[[ホール効果測定システム:http://surface-www.chem.saitam...
Keithley社製7001スイッチ，7065型ホール効果測定用マトリク...
**[[極低温冷凍機:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/...
約５Ｋまで冷却することのできる機械式冷凍機（ダイキン工業...
//**[[Langmuir-Blodgett膜製造装置:http://surface-www.chem...
//フィンランドKSV社製（国内代理店アルテック社）のLB膜製造...
**[[太陽電池分光感度測定装置:http://surface-www.chem.sait...
分光計器製YQ-250CX型です。現行ラインアップは[[分光計器HP:...
I-V測定にはアドバンテスト（現サポートはエーディーシー）...
**ソーラーシミュレーター（疑似太陽光発生装置） [#jbdf67e7]
[[三永電機製作所のXES-151S型:http://www.san-eielectric.co...
太陽電池評価ソフトは，いつもの通りEasy-GPIBを使ったExce...
**[[スピンキャスト成膜装置:http://surface-www.chem.saitam...
[[ミカサのスピンコーター:http://www.opticoat.co.jp/spin/i...
**[[高速遠心分離機:http://surface-www.chem.saitama-u.ac.j...
[[KUBOTAのテーブルトップ高速冷却遠心機 3-30KS型:http://ww...
//**グローブボックス [#v719bfa1]
//[[三幸工業の製品:http://sksanko.com/glovebox.html]]です...
//**紫外〜近赤外分光器 [#d946952c]
//日本分光CT-10型です。2010年現在，遊んでいます。488nmレ...
**（以下追って解説） [#ia5b34f7]
//-陽極酸化用電圧／電流源など
-USB接続小型ファイバマルチチャネル分光器
-Xeランプ光源
-UVオゾン処理装置
-酸素プラズマクリーナー
-光電子収率測定装置
-ガスセンサー評価用パーミエーター
//-アルゴンイオンレーザー
-制御用パーソナルコンピュータ多数&br;
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GP-IB制御の装置が多いのでずっとPC9801とN88-BASICを使っ...
LabViewやTestPointという測定制御ソフト構築用プログラミ...
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EasyGPIBとEasyComm，公開が終了してしまいました。使用で...
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